半导体机器人
1915年安川电机作为电机厂商起家，后率先在世界上提出“机电一体化”概念。拥有自己的伺服/机电/工控的三大核心产品的安川电机自30年前推出半导体机器人以来，已为全球供应了30,000多台半导体机器人，全球市场占比领先。为满足用户对生产线高稳定性和高产能性的需求，安川开发了新一代半导体晶片搬运机器人MR124，并供应EFEM的系统成套设备。
新组合的robot大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率
高速搬运节拍满足：最快300枚/小时
适用wafer对象：300mm～450mm晶片搬运
SEMISTAR-VD95D
SEMISTAR-MR124
SEMISTAR-MR124
适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。
半导体晶片搬运用机器人
负载：--
动态范围：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬运、半导体
MFS22200D
MFS2500D
MFL2200D
MCL165
